TY  - SER
AU  - Asai, H
AU  - Iwase, Nobuo
AU  - Sato, H
AU  - Kimura, K
TI  - Titanium Nitride-Molybdenum Metalilzing Method  for  Aluminum Nitride
KW  - Titanium Nitride Coating
KW  - Aluminum Nitride
KW  - Nitride-Molybdenum
ER  -